●精度高 ●量程、零點外部連續(xù)可調 ● 穩(wěn)定性能好 ● 正遷移可達500%、負遷移可達600%
①比Adixen標準系列泵運行更安靜 ②低工作溫度減少油蒸汽回流,同時提高極限真空
管理解決方案分子污染(計量和過程) 該中*開發(fā)的真空泄漏檢測和管理解決方案,分子污染的新概念。
③用于通過M12插頭控制PentaLine和adixen前級泵(ACP系列) ④用于通過絞合線控制前真空安全閥
閥在斷電時切換到起始位置(機械返回式彈簧) 在電源故障時由機械返回式彈簧復位
適用于雙作用執(zhí)行機構 自由交叉式切換